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GC?系列高壓高純過濾器

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3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器時間:2021-06-01

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3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器

      3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器系列產(chǎn)品超高精度可達0.0025um,是工業(yè)過濾凈化領(lǐng)域中精度超高的產(chǎn)品,本系列產(chǎn)品都是在十萬級無塵車間內(nèi)精密制造而成,具有高精度、耐高溫高壓的特性,主要應(yīng)用于食品、電子、科研、化工等領(lǐng)域。

高純氣體過濾器構(gòu)造圖.jpg


產(chǎn)品性能參數(shù)    

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產(chǎn)品特點

■應(yīng)用范圍廣,流量范圍從15到300SL/min。

■與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。

■3納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降。

■5Ra電拋光表面可防止內(nèi)部污染。

■在去離子水清洗后用熱氮氣烘烤,以滿足半導(dǎo)體工藝標準。

■100萬級無塵無菌車間制造,清潔和包裝環(huán)境。

■測試100%氦泄漏。


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